2015最全面的石墨热场制造工艺大揭秘
21世纪,越来越多的用户开始注意到石墨材料,石墨具有耐高温、导电、导热性良好、润滑性等主要特点,抗热震性等在新能源引领未来的时代,石墨热场以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用。
在真空炉中热场是决定单晶硅好坏的决定因素,通过信瑞达石墨多年来对石墨热场了解,决定热场石墨组件的好坏的因素有很多,其中石墨原材料的选择和加工工艺上非常关键,以下信瑞达石墨为你展示的单晶炉解剖面和常见石墨热场组件的图片
常见真空炉石墨热场的主要部件使用寿命(以信瑞达石墨20寸石墨热场为例,一般情况下20寸单晶炉每月拉单晶12炉左右)
石墨加热器大约100炉
石墨坩埚大约20炉
石墨保温桶100炉以上
隔热屏(外层)100炉左右,另外内隔热屏要比外隔热屏寿命短一些
真空炉石墨热场工艺特点(以信瑞达石墨热场加工工艺为例)
由于单晶炉石墨热场大多是采用等静压石墨来加工,对于石墨制品加工企业来说石墨材料要比加工工艺所占的比重大一些,那么提高石墨热场的利用率是石墨制品加工企业都要考虑的问题,因此在报价给看客户报价的时候除了考虑石墨原材料理化指标,更多的还要考虑石墨热场的寿命。